PFEIFFER PKR 251 (01) PDF MANUAL


Post questions, comments, reviews or errors in the comment box below.

Your File is Ready … Download PDF

CLICK HERE TO DOWNLOAD PFEIFFER PKR 251 (01) PDF MANUAL


PDF Content Summary: Bedienungsanleitung inkl. Konformitätserklärung Compact FullRangeTM Gauge Viton gedichtet PKR 251 BG 805 119 BN (9903) Gültigkeit PT R26 000 (Flansch DN 25 ISO-KF) PT R26 001 (Flansch DN 40 ISO-KF) PT R26 002 (Flansch DN 40 CF-F) Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vor- behalten. Zu diesem Dokument Dieses Dokument beschreibt die Installation und den Betrieb der oben aufgeführten Compact FullRangeTM Gauges. Für weitere Informationen konsultieren Sie die separate Betriebs- anleitung & [1]. Bestimmungsgemässer Gebrauch Die beschriebenen Compact FullRangeTM Gauges erlauben Vakuummessungen im Druckbereich von 5×10-9 ... 1000 mbar. Funktion Die Messröhre enthält zwei separate Messsysteme (Pirani- und Kaltkatoden-System) deren Signale so verknüpft werden, dass ein einheitliches Ausgangssignal zur Verfügung steht. Sicherheit • Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Pro- zessmedien die einschlägigen Vorschriften und Schutz- massnahmen. Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen mit den Werk- stoffen. Die Verantwortung in Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien liegt beim Betreiber. Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen • dieses Dokument missachten • das Produkt nicht bestimmungsgemäss einsetzen • am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungen, usw.) vornehmen • das Produkt mit Zubehör betreiben, welches in den zuge- hörigen Produktdokumentationen nicht aufgeführt ist. Installation Flanschanschluss Hinweis Vorsicht: Vakuumkomponente Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der Vakuumkomponente. Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten. GEFAHR Vorsicht: Überdruck im Vakuumsystem > 1 bar Versehentliches Öffnen von Spannelementen kann zu Verletzungen durch herumfliegende Teile führen. Spannelemente verwenden, die sich nur mit einem Werkzeug öffnen und schliessen lassen (z.B. Spannband-Spannring). Die Messröhre muss galvanisch mit der geerde- ten Vakuumkammer verbunden sein. Die Verbin- dung muss den Anforderungen einer Schutz- verbindung nach EN 61010 entsprechen: • CF-Flansche entsprechen dieser Forderung • Für KF-Flansche ist ein elektrisch leitender Spannring zu verwenden. Bei der Montage an CF-Flanschen kann es vorteilhaft sein, die Elektronik (1) und die Magneteinheit (2) vorübergehend zu entfernen (→ & [1]). 2 4 3 7 1 Die Einbaulage ist frei wählbar, Partikel sollten jedoch nicht in die Messkammer gelangen können. Elektrischer Anschluss 1010 Ident 231456 +V –+ 10k –Figur 1: Elektrischer Anschluss Pin 1 Identifikation Pin 2 Signalausgang (Messsignal) Pin 3 Signalerde Pin 4 Speisung Pin 5 Speisungserde Pin 6 Abschirmung 3 2145 6 Kabeldose lötseitig Stellen Sie sicher, dass die Messröhre angeflanscht ist (→ oben). Falls kein Verbindungskabel vorhanden ist, ein Verbindungs- kabel gemäss Schema herstellen. Schliessen Sie die Messröhre an das Messgerät an. Sichern Sie den Kabelstecker an der Messröhre mit der Schraube. Betrieb Nehmen Sie das Messgerät in Betrieb. Beachten Sie eine Stabilisierungszeit von ≈ 10 Min. Die Messröhre sollte unab- hängig vom anliegenden Druck immer eingeschaltet bleiben: • Der Pirani-Messkreis ist immer aktiviert. • Der durch den Pirani-Messkreis gesteuerte Kaltkatoden- Messkreis wird erst bei Drücken <1×10-2 mbar aktiviert. Gasartabhängigkeit Der Messwert ist gasartabhängig. Die Anzeige gilt für trok- kene Luft, N2, O2 und CO. Für andere Gase ist sie umzurech- nen (→ Technische Daten). Bei Pfeiffer Vacuum-Messgeräten kann dies durch Eingabe des entsprechenden Kalibrierfaktors erfolgen. Zündverzögerung Kaltkatoden-Messsysteme haben (nur nach dem Einschalten) eine Zündverzögerung. Sie beträgt bei: 10-5 mbar ≈ 1 Sekunde 10-7 mbar ≈ 20 Sekunden 5×10-9 mbar ≈ 2 Minuten Solange der Kaltkatodenmesskreis nicht gezündet hat, gibt der Signalausgang den reinen Pirani-Messwert wieder (An- zeige "Pirani-Underrange" bei Drücken <5×10-4 mbar). Messröhre abgleichen Die Messröhre ist ab Werk abgeglichen. Durch Einsatz unter anderen klimatischen Bedingungen, durch Alterung oder Ver- schmutzung kann ein Nachabgleich oder eine Reinigung nötig werden. Der für den tiefen Druckbereich (<1×10-3 mbar) dominante Kaltkatoden-Messkreis ist werksseitig fest abgeglichen. Hin- gegen kann der Pirani-Messkreis nachjustiert werden. Beim Abgleichen wird der Druckbereich zwischen etwa 10-2 mbar und 102 mbar kaum beeinflusst. è Messröhre in Betrieb nehmen (möglichst in der gleichen Lage, in der sie später gebraucht wird). ‚ Evakuieren warten. auf p << 10-4 mbar, anschliessend 10 min ƒ Typenschild im Gegenuhrzeigersinn bis zum Anschlag drehen. „ Mit einem zylindrischen Stift (ø ] 3 mm) den Taster drücken. Gleichzeitig mit Schraubendreher (1.5 mm) am Potentiometer <HV> ... ... auf 5×10-4 mbar abgleichen... oder ... auf 4.2 V abgleichen Anschliessend " Um- drehung im Gegenuhr- zeigersinn drehen. Belüften mit Luft oder Stickstoff auf Atmosphären- druck, anschliessend 10 min warten. ò Typenschild drehen. im Uhrzeigersinn bis zum Anschlag ó Mit Schraubendreher am Potentiometer <ATM> ... ... auf 1×103 mbar abgleichen... oder ... auf 8.6 V abgleichen. õ Typenschild in seine Ausgangsposition zurück- drehen (es rastet ein). Technische Daten Zulässige Temperaturen Lagerung Betrieb Ausheizen -40 °C ... +65 °C + 5 °C ... +55 °C 150 °C (ohne Elektronikein- heit und Magnetabschirmung) Relative Feuchte max. 80% bei Temperaturen bis +31°C, abnehmend auf 50 % bei +40°C Verwendung nur in Innenräumen Höhe bis zu 2000 m NN Messbereich (Luft, N2) 5×10-9 ... 1000 mbar Genauigkeit ≈ ± 30 % (im Bereich 1×10-8 ... 100 mbar) Reproduzierbarkeit ≈ ± 5 % (im Bereich 1×10-8 ... 100 mbar) Schutzart IP 40 Druck max. (absolut) 10 bar, beschränkt auf inerte Gase und Temperaturen <55°C Werkstoffe gegen Vakuum Flansch Messkammer Durchführungsisolation Interne Dichtungen Anode Zündhilfe Pirani-Messrohr Pirani-Heizfaden nichtrostender Stahl nichtrostender Stahl Keramik (Al2O3), Glas Viton Mo nichtrostender Stahl Ni, Au W Inneres Volumen ≈ 20 cm3 Speisung GEFAHR Die Messröhre darf nur an Speise- oder Mess- geräte angeschlossen werden, die den Anforde- rungen der geerdeten Schutzkleinspannung (SELV-E nach EN 61010) entsprechen. Die Leitung zur Messröhre ist abzusichern1). Spannung an der Messröhre 15.0 ... 30.0 V= (Rippel max. 1 Vpp) Leistungsaufnahme ≤ 2 W Sicherung1) ≤ 1 AT Die minimale Spannung des Speisegerätes muss proportional zur Leitungslänge erhöht werden. Spannung am Speisegerät bei maximaler Leitungslänge 16.0 ... 30.0 V= (Rippel max. 1 Vpp) Anschluss elektrisch Kabel 5-polig plus Abschirmung Kabeldose Hirschmann GO 6 WF, 6-polig, abgewinkelt, Buchsen maximale Leitungslänge 75 m (0.25 mm2 Leiter) 100 m (0.34 mm2 Leiter) 300 m (1.0 mm2 Leiter) Betriebsspannung (in der Messkammer) ≤ 3.3 kV Betriebsstrom (in der Messkammer) ≤ 500 μA Ausgangssignal (Messsignal) Spannungsbereich ≈ 0 V ... ≈ +10.5 V Beziehung Spannung- Druck logarithmisch, Steigung 0.6 V / Dekade Fehlersignal < 0.5 V > 9.5 V keine Speisung Pirani-Messelement defekt (Fadenbruch) Ausgangsimpedanz 2×10 Ω Minimale Last 10 kΩ, kurzschlussfest Ansprechzeit p > 10-6 mbar p = 10-8 mbar druckabhängig < 10 ms ≈ 1 s Identifikation der Messröhre (Pin 1) p > 10-2 mbar Reiner Pirani-Betrieb Widerstand 11.1 kΩ gegen Speisungserde p < 10-2 mbar Kaltkatode nicht gezündet Reiner Pirani-Betrieb Widerstand 11.1 kΩ gegen Speisungserde Kaltkatode gezündet Kombinierter Pirani-/ Kaltkatoden-Betrieb Widerstand 9.1 kΩ gegen Speisungserde Folgende Bedingungen müs- sen dabei eingehalten werden: Die Polarität von Pin 1 gegen- über der Speisungserde muss immer positiv sein. Messungen mit Konstantstrom mit Konstantspannung Messstrom im Bereich 0.2 ... 0.3 mA Messspannung im Bereich 2 ... 3 V 1) Pfeiffer Vacuum Mess- und Steuergeräte für Kompakt- Messröhren erfüllen dies. Erdkonzept → Figur 1 Vakuumflansch- Messerde über 10 kΩ verbunden (max. Spannungsdifferenz bezüglich Sicherheit ±50 V bezüglich Genauigkeit ±10 V) Speisungserde-Signal- erde getrennt geführt; bei grossen Leitungslängen (≥ 6 m) wird differentielle Messung empfohlen Beziehung Messsignal – Druck Druck p 1E+04 1E+02 1E+00 U[V Pambar torr r orrer osnes1E–02 e gnarrednue gnarrevor orrer osnes1E–04 1E–06 1E–08 0.0 0.5 1.5 2.5 3.5 4.5 5.5 6.5 7.5 8.5 9.5 10.5 Messsignal U [V] mbar Pa Torr d 11.33 9.33 11.46 gültig im Bereich: 5×10-9 mbar < p 3.8×10-9 Torr < p 5×10-7 Pa < p < 1000 mbar < 750 Torr < 1×105 Pa Gasartabhängigkeit Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung zurückzuführen sind, fallen nicht unter die Garantie. Entsorgung Zwecks fachgerechter Entsorgung des Produkts nehmen Sie bitte mit Ihrer nächstgelegenen Pfeiffer Vacuum-Servicestelle Kontakt auf. p = 101.667×U-d Weitere Informationen & [1] http://www.pfeiffer-vacuum.de Betriebsanleitung PKR 251 BG 805 155 BD Konformitätserklärung Compact FullRangeTM Gauge Viton gedichtet PKR 251 Konformitätserklärung im Sinne der aufgeführten EU-Richtlinien Hiermit erklären wir, dass die oben aufgeführten Produkte den Bestimmungen der aufgeführten EU-Richtlinien Anzeigenbereich über 10-2 mbar entsprechen. Angewendete Richtlinien, harmonisierte Normen und ange- wendete nationale Normen in Sprachen und Spezifikationen: 73/23/EWG (7/93) ............................................................... 89/336/EWG (7/93) ............................................................ EN 61010-1: 1993 ............................................................... EN 50081-1: 1992 ............................................................... EN 50082-2: 1994 ............................................................... ................................................................................................... Anzeigenbereich Unterschrift 10-6 ... 10-1 mbar Asslar, den 30.3.99 Wolfgang Dondorf Geschäftsführer Im Bereich unter 10-5 mbar ist die Anzeige linear. Für andere Gase als Luft kann der Druck durch eine einfache Umrechnung ermittelt werden: peff = K × angezeigter Druck Gasart Luft Xe Kr (N2, O2, CO) Ar H2 Ne He K (Mittel- werte) Pfeiffer Vacuum GmbH Emmeliusstrasse 33 D–35614 Asslar Deutschland Tel +49-(0) 6441-802-0 Fax +49-(0) 6441-802-202 info@pfeiffer-vacuum.de http://www.pfeiffer-vacuum.de 1.0 0.4 0.5 0.8 2.4 4.1 5.9 Wartung, Störungsbehebung → & [1] Bei hohen Betriebsdrücken und/oder verschmutzenden Betriebsbedingngen ist ein regelmässiges Reinigen der Messröhre erforderlich. Short operating instructions incl. Declaration of conformity Compact FullRangeTM Gauge Viton sealed PKR 251 BG 805 119 BN (9903) Validity PT R26 000 (DN 25 ISO-KF flange) PT R26 001 (DN 40 ISO-KF flange) PT R26 002 (DN 40 CF-F flange) We reserve the right to make technical changes without prior notice. About this document These instructions describe the installation and operation of the above Compact FullRangeTM Gauges. For further information please refer to the Operating manual & [1], which is separately available. Intended use The above Compact FullRangeTM Gauges have been de- signed for vacuum measurement in the pressure range of 5×10-9 ... 1000 mbar. Functional principle The PKR 251 gauge consists of two separate measurement systems (Pirani and cold cathode system) the signals of which are combined in such a way that one uniform measurement signal is output. Safety • Adhere to the applicable regulations and take the neces- sary precautions for the process media used. Consider possible reactions with the product materials. The custodian assumes the responsibility in conjunction with the process media used. Pfeiffer Vacuum assumes no liability and the warranty becomes null and void if the custodian or third parties • disregard the information in this document • use the product in a non-conforming manner • make any kind of changes (modifications, alterations etc.) to the product • use the product with accessories not listed in the product documentation. Installation Flange connection Note Caution: vacuum component Dirt and damages impair the function of the vacuum component. When handling vacuum components, take appropriate measures to ensure cleanliness and prevent damages. DANGER Caution: overpressure in the vacuum system > 1 bar Inadvertent opening of clamps can result in injury due to catapulted parts. Use the type of clamps which can only be opened and closed by means of a tool (e.g. hose clip clamping ring). Electrically connect the gauge to the grounded vacuum chamber. This connection must conform to the requirements of a protective connection according to EN 61010: • CF flanges fulfill this requirement • For gauges with a KF flange, use a conduc- tive metallic clamping ring. When making a CF flange connection, it can be advantageous to temporarily remove the electronics (1) and the magnet unit (2) (→ & [1]). 2 3 1 4 7 The gauge may be mounted in any orientation. However, it should be mounted so that any particles present cannot penetrate into the measuring chamber. Electrical connection 1010 Ident 231456 +V –+ 10k –Figure 1: Electrical connection Pin 1 identification Pin 2 signal output (measuring signal) Pin 3 signal common Pin 4 supply Pin 5 supply common Pin 6 screening 3 214 5 6 Connector, soldering side Make sure the flange of the gauge is connected to the vacuum system (→ above). If no connection cable is available, make a connection cable according to the above diagram. Connect the gauge to the measurement unit. Secure the connector on the gauge with a screw. Operation Put the measurement unit into operation. Allow for a stabiliz- ing time of ≈ 10 minutes. Once the gauge has been switched on, permanently leave it on irrespective of the pressure: • The Pirani measurement circuit is always on. • The cold cathode measurement circuit is controlled by the Pirani circuit and is activated only at pressures <1×10-2 mbar. Gas type dependence The measurement value depends on the type of gas being measured. The value displayed is accurate for dry air, N2, O2, and CO. It can be mathematically converted for other gases (→ Technical data). If you are using a Pfeiffer Vacuum measurement unit, you can enter a calibration factor to correct the measurement value displayed. Ignition delay When cold cathode measurement systems are activated, an ignition delay occurs, which is typically: 10-5 mbar≈ 1 second 10-7 mbar≈ 20 seconds 5×10-9 mbar≈ 2 minutes As long as the cold cathode measurement circuit has not yet ignited, the measurement value of the Pirani is output as measuring signal ("Pirani underrange" is displayed for pressures <5×10-4 mbar). Adjusting the gauge The gauge is factory-calibrated. Readjustment or cleaning may become necessary because of use in different climatic conditions, aging, or contamination. The cold cathode measurement circuit, which is dominant for low pressures (<1×10-3 mbar), is factory-calibrated. By way of contrast, the Pirani measurement circuit can be adjusted. Any adjustment has a negligible effect on the pressure range between approx. 10-2 mbar and 102 mbar. è Put the gauge into operation (if possible, in the position, in which it will be used later on). ‚ Evacuate the vacuum system to p << 10-4 mbar, and then wait 10 minutes. ƒ Turn the nameplate counter-clockwise until the mechanical stop is reached. „ While depressing the tactile switch with a cylindrical pin (ø ] 3 mm), adjust the <HV> potentiometer by means of a 1.5 mm screwdriver ... ... to 5×10-4 mbar or ... to 4.2 V. After that, turn the poten- tiometer counter-clockwise by ≈ 120 °. Vent with air or nitrogen to atmospheric pressure and then wait 10 minutes. ò Turn the nameplate clockwise until the mechanical stop is reached. ó Using the screwdriver, adjust the <ATM> potentiometer ... ... to 1×103 mbar or ... to 8.6 V. õ Turn the nameplate back to its original position (it will catch). Technical data Admissible temperatures Storage Operation Bakeout -40 °C ... +65 °C + 5 °C ... +55 °C 150 °C (without electronics and magnetic shielding) Relative humidity max. 80% at temperatures ≤+31°C decreasing to 50 % at +40°C Use indoors only altitude up to 2000 m (6600 ft) 5×10Measurement range -9 ... 1000 mbar (air, N2) Accuracy ≈ ± 30 % (in the range 1×10-8 ... 100 mbar) Reproducibility ≈ ± 5 % (in the range 1×10-8 ... 100 mbar) Type of protection IP 40 Pressure max. (absolute) 10 bar limited to inert gases and temperatures <55°C Materials exposed to the vacuum Flange Measuring chamber Feedthrough isolation Internal seals Anode Ignition aid Pirani measuring tube Pirani filament stainless steel stainless steel ceramic (Al2O3), glass Viton Mo stainless steel Ni, Au W Internal volume ≈ 20 cm3 Supply DANGER The gauge may only be connected to supply or measurement units that conform to the require- ments of a grounded protective extra-low voltage (SELV-E according to EN 61010). The connec- tion to the gauge has to be fused1). Voltage at the gauge 15.0 ... 30.0 V= (max. ripple 1 Vpp) Power consumption ≤ 2 W Fuse required1) ≤ 1 AT The minimum voltage of the power supply unit must be in- creased proportionally to the length of the measuring cable. Voltage at the supply unit with maximum cable length 16.0 ... 30.0 V= (max. ripple 1 Vpp) Electrical connection Cable 5 poles plus screening Connection socket Hirschmann GO 6 WF, 6 contacts, angled, female Maximum cable length 75 m (0.25 mm2 conductor) 100 m (0.34 mm2 conductor) 300 m (1.0 mm2 conductor) Operating voltage (in the measuring chamber) ≤ 3.3 kV Operating current (in the measuring chamber) ≤ 500 μA Output signal (measuring signal) Voltage range ≈ 0 V ... ≈ +10.5 V Relationship voltage-pressure logarithmic increase 0.6 V / decade Error signal < 0.5 V > 9.5 V no supply Pirani sensor defective (filament break) Output impedance 2×10 Ω Minimum load 10 kΩ, short-circuit proof Response time p > 10-6 mbar p = 10-8 mbar pressure dependent < 10 ms ≈ 1 s Gauge identification (pin 1) p > 10-2 mbar Pirani-only mode 11.1 kΩ resistor referenced to supply common p < 10-2 mbar Cold cathode not ignited Pirani-only mode 11.1 kΩ resistor referenced to supply common Cold cathode ignited Combined Pirani-/ cold cathode mode 9.1 kΩ resistor referenced to supply common The following conditions must be fulfilled: The polarity of pin 1 referenced to supply common is always positive. Measurement with constant current with constant voltage measurement current within range 0.2 ... 0.3 mA measurement voltage within range 2 ... 3 V 1) Pfeiffer Vacuum measurement and control units for Compact Gauges fulfill these requirements. Grounding concept → Figure 1 Vacuum flange-measurement common connected via 10 kΩ (max. voltage differential with respect to safety ±50 V respect to accuracy ±10 V) Supply common-signal common conducted separately; differ- ential measurement recom- mended for cable lengths ≥ 6 m Relationship measuring signal - pressure Pressure p 1E+04 1E+02 1E+00 U[V Pambar torr r orrer osnes1E–02 e gnarrednue gnarrevor orrer osnes1E–04 1E–06 1E–08 0.0 0.5 1.5 2.5 3.5 4.5 5.5 6.5 7.5 8.5 9.5 10.5 Measuring signal U [V] mbar Pa Torr d 11.33 9.33 11.46 valid in the range: 5×10-9 mbar < p 3.8×10-9 Torr < p 5×10-7 Pa < p < 1000 mbar < 750 Torr < 1×105 Pa Gas type dependence Gauge failures due to contamination are not covered by the warranty. Decommissioning For environmentally compatible disposal, please contact your nearest Pfeiffer Vacuum Service Center. Further information & [1] http://www.pfeiffer-vacuum.de Operating manual PKR 251 p = 101.667×U-d BG 805 155 BE Declaration of conformity Compact FullRangeTM Gauge Viton sealed PKR 251 EU Declaration of Conformity as defined by the listed Guidelines We herewith declare that the above product complies with the provisions of the listed Guidelines. Guidelines, harmonised standards, national standards in languages and specifications which have been applied: Indication range 73/23/EEC (7/93) ................................................................ above 10-2 mbar 89/336/EEC (7/93) .............................................................. EN 61010-1: 1993 ............................................................... EN 50081-1: 1992 ............................................................... EN 50082-2: 1994 ............................................................... ................................................................................................... Signature Asslar, 30.3.99 Indication range Wolfgang Dondorf 10-6 ... 10-1 mbar Managing director In the range below 10-5 mbar, the pressure indication is linear. For gases other than air, the pressure can be determined by means of a simple conversion formula: peff = K × pressure indicated Gas type Air Xe Kr (N2, O2, CO) Ar H2 Ne He K (mean values) Pfeiffer Vacuum GmbH Emmeliusstrasse 33 D–35614 Asslar Deutschland Tel +49-(0) 6441-802-0 Fax +49-(0) 6441-802-202 info@pfeiffer-vacuum.de http://www.pfeiffer-vacuum.de 1.0 0.4 0.5 0.8 2.4 4.1 5.9 Maintenance, Troubleshooting → & [1] If the gauge is operated under high pressures or under dirty conditions, it must be regularly cleaned.


FREE ENGLISH PDF

OPERATING INSTRUCTIONS

USER GUIDE - USER MANUAL

OWNER GUIDE - OWNER MANUAL

REFERENCE GUIDE - REFERENCE MANUAL

INSTRUCTION GUIDE - INSTRUCTION MANUAL

Leave a Reply